CVD设备 CVD设备价格 CVD设备厂家

 一、产品特点

   采用卧式结构，占地空间小，操作方便，可对一些小型工件在真空或者保护气氛下进行热处理，是高校、科研院所、工矿企业等做CVD、气氛保护、还原和真空处理用的理想产品。

二、主要技术参数

1、效工作区：Φ100×200mm

2、均温区误差：≤±5℃

3、Zui高温度：1000℃

4、长期工作温度：850℃

5、仪表控温精度：±1℃

6、极限真空度：5Pa

7、压升率：≤1.33Pa/h

8、水蒸气系统：恒温水箱（室温-100度，水位可看，温度可调）

9、炉管：石英管1套，310S管1套

10、快速升温速率：≥20℃/min

11、慢速升温、降温速率：≤0.5℃/min

12、50段智能化程序控制

三、结构组成与特点

  本产品由炉体、炉管、控制系统、加热元件、水冷系统和真空系统等组成

1、炉体：炉体由型钢和钢板组焊成两哈夫型，中间氧化铝纤维作为炉衬，在高温时能把炉盖打开实现快速降温，炉管两端用不锈钢法兰密封，可以通气氛或抽真空，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启，方便操作。

2、炉管：氧化铝管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头，减去了取放料时的繁琐操作， 炉管工件横穿与上下各6组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右，炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头）端口可按实际使用扩展。

3、真空系统： 采用2XZ-4B 直联泵和真空阀门组成，真空机组上设有放气阀和充气阀。

4、加热元件：选用进口高温铁铬铝制成螺旋形电阻丝，压制在成型纤维模块里。放置在炉衬中，对炉管圆周进行加热。

5、水冷系统：从自来水管上接入炉管冷却端和泵的冷却管.

6、控制系统：模糊PID控制和自整定调节，智能化50段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。B型热电偶测温，控温仪表选用厦门宇品牌。

7、恒温水槽：设备进气系统中设有密封的恒温水槽，温度在室温-100度可调，进气管路上设有伴热带，温度在室温-100度可调。

8、炉架：整个炉体和恒温槽放置在炉架上面，炉架为铝合金材质。